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  •   6686体育国产电子束光刻机实现自主可控,是实现我国集成电路产业链自主可控的重要一环。近日,松山湖材料实验室精密仪器联合工程中心产业化项目研发再获新突破,项目团队成功研制出电子束光刻系统,在全自主电子束光刻机整机的开发与产业化过程中取得阶段性进展,初步实现了电子束光刻机整机的自主可控6686体育,标志着国产电子束光...
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